光MEMS静電共振ミラー

メムスとは・・・MEMS(micro electro mechanical system)とは、
機械部品と電子回路を融合し微細部品を形成した微小電子機械部品です。

MEMS静電共振ミラーとは、光学用途に駆動ミラーを単結晶シリコン上
に形成し、櫛形駆動部を静電気を用いて上下させる事によりミラーを動かし、
周波数で共振増幅させた単一ミラー面に半導体レーザーを照射し、画像を
スキャニング、プロジェクション更にはディスプレイする目的に用いる
微小電子機械ミラー部品を言います。

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用途として、
バーコードレーザースキャナ、レーザースキャンプロジェクター、
ポケットプロジェクター、レーザースキャンプリンターや、
その他画像センサー、非接触センサー等のセキュリティ関連及び製造現場等での
品質管理に関わるセンサー、物体形状の計測及び特殊顕微鏡等が考えられ
ますが、将来的には携帯電話にプロジェクターを内蔵したり、超小型のレーザー
プリンター等のカラー色への応用も可能と思われます。

特徴

超小型軽量、高速動作、高密度、低消費電力、耐久性良、静寂、
再現性良、設置自在性、遠投影機能。

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MEMSの用途

色々なアプリケーションにMEMSミラーを組み込み研究開発されています。


MEMS_r.jpg

ヘッドアップディスプレイ、レーザーポインター
バーコードリーダー、レーザープリンター
ミニプロジェクターなど

1D-MEMS,2D-MEMS評価キットを販売しております。

(写真は、1D-MEMS評価キット)

MEMS_EVK_1D.jpg

1D MEMS Scanning Mirror (on PCB).
MEMS Control Board
MEMS Mirror Connection Cable
Software CD
RS232 Cable
USB power cable (5V DC)


コントロールボードとRS232Cケーブル経由でPCに接続し、
付属のソフトウエア(GUI環境にて)で、MEMSミラーを
操作することができます。

 Drive signal frequency
Drive signal duty ratio
Manual control of frequency & duty ratio
Automatic sweep down of drive frequency





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